有機硅工藝介質主要是六甲基環三硅氧烷(D3)、八甲基環四硅氧烷(D4)、十甲基環五硅氧烷(D5)、十二甲基環六硅氧烷(D6)和鹽酸等。它們中的一些成分具有易燃易爆的特點,所以對機組有防爆要求。在有機硅的生產工藝里面,硅氧烷裂解裝置真空系統是非常重要的裝置之一。威固樂推薦使用羅茨液環泵真空機組,系統最大抽速可達3051m3/hr @37.3mbar (a) & 3600rpm 。MB羅茨增壓泵的主要特點是:可以采用直聯,或皮帶輪的傳動方式以對應客戶的不同抽速要求;采用五點式機械密封,保證了泵腔內干凈無油;機
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